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NanoFocus μscan 三維激光掃描輪廓儀

簡要描述：μscan系列機臺采用模塊化設(shè)計，特點是快速測量、不接觸、不破壞、自動化。主要應(yīng)用于材料表面的三維輪廓測量，粗糙度測量，寬度，高度，角度，半徑、粗糙度等二維、三維數(shù)據(jù)分析。能直接測量較大面積的樣品，而不用通過拼接。
NanoFocus μscan 三維激光掃描輪廓儀

  • 產(chǎn)品型號：
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 更新時間：2022-11-17
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品牌其他品牌價格區(qū)間100萬-200萬
產(chǎn)品種類非接觸式輪廓儀/粗糙度儀產(chǎn)地類別進口
應(yīng)用領(lǐng)域綜合

NanoFocus μscan 三維激光掃描輪廓儀

μscan系列機臺采用模塊化設(shè)計，特點是快速測量、不接觸、不破壞、自動化。主要應(yīng)用于材料表面的三維輪廓測量，粗糙度測量，寬度，高度，角度，半徑、粗糙度等二維、三維數(shù)據(jù)分析。能直接測量較大面積的樣品，而不用通過拼接。 
μScan的中心部件掃描模塊(x/y方向樣品掃描)可以和不同的傳感器(Z方向測量)連用，如Confocal point sensor(CF)、Autofocus sensor(AF)、Chromatic white light sensor(CLA)、Holographic sensor(CP)等。目前主配的是連接CF4激光共聚焦傳感器。 
CF4激光共聚焦傳感器內(nèi)，被照亮的小孔成像在被測量的表面，激光光束經(jīng)由物鏡迅速上下移動聚焦于待測物上，只有當焦平面和真實表面的點配對的時候，探測器才記錄到一個表面信號。因此物鏡得通過小的垂直步位移動，使信號通過位移傳感器的位置移動被測出。根據(jù)特殊的內(nèi)插技術(shù)，該系統(tǒng)的精度能達到10nm以下。

NanoFocus μscan 三維激光掃描輪廓儀
















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